| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSING WITH ACROSS-WAFER CRITICAL DIMENSION MONITORING USING OPTICAL ENDPOINT DETECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9211892(D0) |
申请公布日期 |
1992.07.15 |
| 申请号 |
GB19920011892 |
申请日期 |
1992.06.05 |
| 申请人 |
DIGITAL EQUIPMENT CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/30;G01B11/06;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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