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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR CRYSTALLINE LAYER
摘要
申请公布号 EP0236953(B1) 申请公布日期 1992.07.15
申请号 EP19870103147 申请日期 1987.03.05
申请人 IIZUKA, KOZO 发明人 NISHIMURA, TADASHI MITSUBISHI DENKI K.K.;INOUE, YASUO MITSUBISHI DENKI K.K.;SUGAHARA, KAZUYUKI MITSUBISHI DENKI K.K.;KUSUNOKI, SHIGERU MITSUBISHI DENKI K.K.
分类号 H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268;H01L21/762;H01L29/04 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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