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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04196177(A) 申请公布日期 1992.07.15
申请号 JP19900321840 申请日期 1990.11.26
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 KUDO NOBORU
分类号 H01L21/28;H01L29/866 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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