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经营范围
发明名称
COMBINING DEVICE INCLUDING SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH04196043(A)
申请公布日期
1992.07.15
申请号
JP19900322304
申请日期
1990.11.28
申请人
HITACHI LTD
发明人
MATSUI HIRONOBU;ICHIHASHI MIKIO;HOSAKA SUMIO;NAKAYAMA YOSHINORI;HARAICHI SATOSHI
分类号
H01J37/28;G01Q30/02
主分类号
H01J37/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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