贮氢合金薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及贮氢材料的制备。采用双源离子束溅射法制备贮氢合金薄膜，可用于镍-氢电池的负极，具有放电容量大、抗粉化能力强、循环寿命长等优点。

主权项

1、一种采用双源离子束溅射制备贮氢合金薄膜的方法，其特征在于它包括以下步骤： (1)选择一组下列金属 Ti、Ni， Ti、Ni及掺杂元素， 或其它贮氢材料组分的金属，如La及混合稀土，Fe、Mn、Mg、Co等，作为贮氢合金薄膜的组分放在可旋转的四Ⅰ位靶上； (2)选择一种下列材料 Ti、Ni、Al及其它金属(如Pt、Pd、Cu、Mg等)、硅片、玻璃、聚酯材料、不锈钢或各类块状贮氢材料，作为贮氢合金薄膜的基片放在基片架上； (3)在真空条件下，用溅射源离子束交替溅射各金属靶，并通过所说的可旋转的四Ⅰ位靶控制各靶材金属的溅射时间以得到适宜组分的合金沉积层，同时用高能轰击源离子束辐射所说基片上的沉积层，使其合金化即可制备出贮氢合金薄膜。