发明名称 PROXIMITY EXPOSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04195053(A) 申请公布日期 1992.07.15
申请号 JP19900323022 申请日期 1990.11.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIBATA YUKIHIRO;TANAKA TSUTOMU
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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