发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FORMING HARD CARBON FILM
摘要
申请公布号 JPH04193953(A) 申请公布日期 1992.07.14
申请号 JP19900327275 申请日期 1990.11.27
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 OKADA SHIGENOBU
分类号 C23C16/26;C23C16/27;C23C16/48;C23C16/50;C23C16/511 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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