| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR ARTICLE AND PREPARATION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5130778(A) |
申请公布日期 |
1992.07.14 |
| 申请号 |
US19900538423 |
申请日期 |
1990.06.15 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
ARIKAWA, SHIRO;YONEHARA, TAKAO |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/761;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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