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发明名称 METHOD FOR CONTROLLING SPECIFIC RESISTANCE OF SINGLE CRYSTAL AND AN APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 US5129986(A) 申请公布日期 1992.07.14
申请号 US19900614587 申请日期 1990.11.16
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 SEKI, HIDETOSHI;OHTSUKA, SEIICHIRO;BABA, MASAHIKO
分类号 C30B15/20;C30B15/00;C30B29/06 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
主权项
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