发明名称
摘要
申请公布号 JPH0442640(B2) 申请公布日期 1992.07.14
申请号 JP19830252111 申请日期 1983.12.28
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 SAWADA RYOICHI
分类号 G01T1/24;G01T1/20;G01T1/29;G21K4/00;H01L31/00;H01L31/09 主分类号 G01T1/24
代理机构 代理人
主权项
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