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发明名称 INSTRUMENT FOR MEASURING AREA, CONFIGURATION AND THE LIKE OF CONTACT SURFACE BY OPTICAL CONTACT METHOD
摘要
申请公布号 JPH04194703(A) 申请公布日期 1992.07.14
申请号 JP19900326721 申请日期 1990.11.28
申请人 TOUYOU SEIKI SEISAKUSHIYO:KK 发明人 TANAKA YOJI;KOBAYASHI KOICHI
分类号 G01B11/28;G01N21/84 主分类号 G01B11/28
代理机构 代理人
主权项
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