发明名称 CELL FOR CONDUCTIVE LIQUID OF MOLECULAR BEAM EPITAXY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04193791(A) 申请公布日期 1992.07.13
申请号 JP19900324795 申请日期 1990.11.27
申请人 NEC CORP 发明人 SASAKI NARIHITO
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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