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发明名称 NITRIDE FILM WET ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04192525(A) 申请公布日期 1992.07.10
申请号 JP19900324818 申请日期 1990.11.27
申请人 NEC CORP 发明人 SEO YUJI
分类号 H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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