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发明名称 RESIST REMOVING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04192319(A) 申请公布日期 1992.07.10
申请号 JP19900195300 申请日期 1990.07.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 OGURA TAKEISA
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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