| 发明名称 |
IMPURITY DIFFUSION INTO INALP COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04192516(A) |
申请公布日期 |
1992.07.10 |
| 申请号 |
JP19900324102 |
申请日期 |
1990.11.27 |
| 申请人 |
DENKI KAGAKU KOGYO KK |
发明人 |
ARAI TORU;TERUI YOSHINORI;TERASAKI RYUICHI |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/223;H01S5/00 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
