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发明名称 CATHODE SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR920005623(B1) 申请公布日期 1992.07.10
申请号 KR19900005167 申请日期 1990.04.13
申请人 LEYBOLD A.G. 发明人 ZEJDA, JAROSLAV
分类号 C23C14/34;C23C14/35;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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