发明名称 SOI-TYPE THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 CA2058513(A1) 申请公布日期 1992.07.10
申请号 CA19922058513 申请日期 1992.01.08
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 KONDO, SHIGEKI
分类号 H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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