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发明名称 SELECTIVE ANODIC OXIDATION
摘要
申请公布号 JPH04192423(A) 申请公布日期 1992.07.10
申请号 JP19900320857 申请日期 1990.11.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TANIGUCHI YASUYUKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/027;H01L21/316 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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