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发明名称 KONTURENMESSMETHODE.
摘要
申请公布号 DE3871706(D1) 申请公布日期 1992.07.09
申请号 DE19883871706 申请日期 1988.10.14
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KOMATSU, FUMIO, FUCHU-SHI TOKYO-TO, JP;OKUMURA, KATSUYA, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 H01J37/22;G01B11/24;G01B15/00;G01B15/04;G03F7/20;H01J37/244;(IPC1-7):G01B15/04 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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