| 发明名称 |
MAGNETO-MICROWAVE PLASMA SPUTTERING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04191369(A) |
申请公布日期 |
1992.07.09 |
| 申请号 |
JP19900320092 |
申请日期 |
1990.11.24 |
| 申请人 |
HORIIKE YASUHIRO;KOBE STEEL LTD |
发明人 |
HORIIKE YASUHIRO;NARAI SATORU |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/35;H01L21/3205 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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