发明名称 |
PRODUCTION OF DIAMOND THIN FILM-COATED MEMBER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04191372(A) |
申请公布日期 |
1992.07.09 |
申请号 |
JP19900320147 |
申请日期 |
1990.11.22 |
申请人 |
IDEMITSU PETROCHEM CO LTD |
发明人 |
NAGASA MUNEHIRO |
分类号 |
C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/44;C23C16/458 |
主分类号 |
C30B29/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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