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发明名称 PRODUCTION OF BORON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH04191358(A) 申请公布日期 1992.07.09
申请号 JP19900317986 申请日期 1990.11.26
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 TODA NAOHIRO;FUJITA NOBUHIKO;NAKAYAMA AKIRA
分类号 C23C14/06 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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