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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES REGENERIERBAREN SILIZIUM-PIN-DOSIMETERS
摘要
申请公布号 DD300719(A7) 申请公布日期 1992.07.09
申请号 DD19840262319 申请日期 1984.04.23
申请人 AKAD WISSENSCHAFTEN 发明人 SCHUBERT DIETRICH
分类号 G01T3/08;H01L31/115;(IPC1-7):G01T3/08 主分类号 G01T3/08
代理机构 代理人
主权项
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