METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES,申请号EP19890118588-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号	EP0362867(A3)	申请公布日期	1992.07.08
申请号	EP19890118588	申请日期	1989.10.06
申请人	KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA	发明人	ABE, MASAHIRO INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION;MASE, YASUKAZU INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION;KATSURA, TOSHIHIKO INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION
分类号	H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/90	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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