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发明名称
INTEGRATED CIRCUIT MASTERSLICE
摘要
申请公布号
EP0281590(B1)
申请公布日期
1992.07.08
申请号
EP19870905678
申请日期
1987.07.20
申请人
HUGHES AIRCRAFT COMPANY
发明人
HENDERSON, RICHARD, C.
分类号
H01L21/822;H01L21/82;H01L27/02;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/118;H01L27/12
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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