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发明名称 SUBSTRATE SUPPORT DEVICE FOR CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0444205(A4) 申请公布日期 1992.07.08
申请号 EP19900913542 申请日期 1990.09.14
申请人 ASM JAPAN K.K.;NEC CORPORATION 发明人 SHUTO, MITSUTOSHI ASM JAPAN K.K.;HUKAZAWA, YASUSHI ASM JAPAN K.K.;OHSAKI, MINORU NEC KYUSHU, LTD. 100, YAHATA-MACHI
分类号 B65D23/08;B65D65/16;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 B65D23/08
代理机构 代理人
主权项
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