| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04188750(A) |
申请公布日期 |
1992.07.07 |
| 申请号 |
JP19900315895 |
申请日期 |
1990.11.22 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;TOUSHIBA MAIKURO EREKUTORONIKUSU KK |
发明人 |
TOKUMARU TAKEJI |
| 分类号 |
H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L21/822 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
