| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04188817(A) |
申请公布日期 |
1992.07.07 |
| 申请号 |
JP19900319129 |
申请日期 |
1990.11.22 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KUSAKABE KENJI;YAMAUCHI KEIJI |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/304;H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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