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发明名称 PROTECTIVE FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04188623(A) 申请公布日期 1992.07.07
申请号 JP19900313504 申请日期 1990.11.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YASUI HIDEAKI;TSUDA YOSHIYUKI;INAMI TAKASHI;AKUTAGAWA RYUTARO
分类号 H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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