| 发明名称 |
PROCESSO DE MICROLITOGRAFIA EM CAMPO OTICO PROXIMO E DISPOSITIVO PARA MICROLITOGRAFIA UTILIZANDO DITO PROCESSO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
BR9007682(A) |
申请公布日期 |
1992.07.07 |
| 申请号 |
BR19900007682 |
申请日期 |
1990.09.21 |
| 申请人 |
SPIRAL RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT S.A.R.L. |
发明人 |
FREDERIQUE DE FORNEL;JEAN-PIERRE GOUDONNET;JAMES MONTOVANI |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/304;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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