METHOD FOR ETCHING POLYIMIDE RESIN,申请号JP19900314416-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR ETCHING POLYIMIDE RESIN
摘要
申请公布号	JPH04187776(A)	申请公布日期	1992.07.06
申请号	JP19900314416	申请日期	1990.11.21
申请人	SUMITOMO METAL MINING CO LTD	发明人	OGASAWARA SHUICHI;TAKAHASHI TOMOYOSHI
分类号	C23C18/24	主分类号	C23C18/24
代理机构		代理人
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