发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04187760(A) 申请公布日期 1992.07.06
申请号 JP19900318881 申请日期 1990.11.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HANAI MASAHIRO
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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