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发明名称 DEVICE OF PREPARING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04187592(A) 申请公布日期 1992.07.06
申请号 JP19900319858 申请日期 1990.11.22
申请人 ANELVA CORP 发明人 JINBA HITOSHI
分类号 C30B25/00;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/452;C30B25/08;H01L21/31 主分类号 C30B25/00
代理机构 代理人
主权项
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