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发明名称 SURFACE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04188052(A) 申请公布日期 1992.07.06
申请号 JP19900315882 申请日期 1990.11.22
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MORIOKA YOSHIHISA
分类号 G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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