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发明名称 CLEANING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04187771(A) 申请公布日期 1992.07.06
申请号 JP19900317048 申请日期 1990.11.21
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOSHIBA CORP 发明人 SHIRATANI ISAO;MIYAZAKI SHINJI;MIKATA YUICHI;MORIYA TAKAHIKO;OKUMURA KATSUYA
分类号 C23C16/44;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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