发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04186637(A) 申请公布日期 1992.07.03
申请号 JP19900312546 申请日期 1990.11.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 AONO KOJI
分类号 H01L29/417;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L29/417
代理机构 代理人
主权项
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