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发明名称 MANUFACTURE OF SILICON-ON-INSULATOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04186815(A) 申请公布日期 1992.07.03
申请号 JP19900314433 申请日期 1990.11.21
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUKURODA JIYUNJI;ARIMOTO YOSHIHIRO
分类号 H01L27/12;H01L21/02 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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