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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04186638(A)
申请公布日期
1992.07.03
申请号
JP19900312201
申请日期
1990.11.16
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NAKATANI MITSUNORI
分类号
H01L21/28;H01L21/338;H01L29/812
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
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