发明名称 VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04186825(A) 申请公布日期 1992.07.03
申请号 JP19900316421 申请日期 1990.11.21
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SENTO TOSHIHIKO;ISHIHARA AKIRA
分类号 C30B25/08;C30B25/10;C30B25/14;H01L21/205 主分类号 C30B25/08
代理机构 代理人
主权项
地址