MEASURING METHOD OF SEMICONDUCTOR ACCELERATION DETECTOR,申请号JP19900312197-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MEASURING METHOD OF SEMICONDUCTOR ACCELERATION DETECTOR
摘要
申请公布号	JPH04186650(A)	申请公布日期	1992.07.03
申请号	JP19900312197	申请日期	1990.11.16
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	YAMAMOTO MASAHIRO;ARAKI TATSU
分类号	H01L21/66;G01P21/00	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
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