发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND ITS TESTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04186744(A) 申请公布日期 1992.07.03
申请号 JP19900315610 申请日期 1990.11.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KIKUCHI HIDEO
分类号 G01R31/28;H01L21/66;H01L21/82 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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