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发明名称 GATEELEKTRODE EINER HALBLEITERVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE4138842(A1) 申请公布日期 1992.07.02
申请号 DE19914138842 申请日期 1991.11.26
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KASAI, NOBUYUKI;SAKAMOTO, SHINICHI;SONODA, TAKUJI;YAGI, TETSUYA, ITAMI, JP
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3213;H01L21/338;H01L29/423;H01L29/47;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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