发明名称 TWO-DIMENSIONAL MOTOR STAGE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04185272(A) 申请公布日期 1992.07.02
申请号 JP19900313231 申请日期 1990.11.19
申请人 SUMITOMO HEAVY IND LTD 发明人 TOMITA YOSHIYUKI;SATO FUMIAKI
分类号 G12B5/00;G05D3/00;H02K41/03 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
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