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发明名称
ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04184853(A)
申请公布日期
1992.07.01
申请号
JP19900315523
申请日期
1990.11.19
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
NAGAI NOBUO
分类号
C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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