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经营范围
发明名称
SPINNING COATER
摘要
申请公布号
JPH04184913(A)
申请公布日期
1992.07.01
申请号
JP19900314624
申请日期
1990.11.20
申请人
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD
发明人
NISHIO FUMINOBU
分类号
G03F7/16;B05C11/08;G03F7/20;H01L21/027
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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