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经营范围
发明名称
INTEGRATED FLUID DISPENSE APPARATUS TO REDUCE CONTAMINATION
摘要
申请公布号
GB9210512(D0)
申请公布日期
1992.07.01
申请号
GB19920010512
申请日期
1992.05.15
申请人
MOTOROLA INC
发明人
分类号
F17D1/08;B01J4/00;B01J4/02;B01J19/18;G03F7/16;H01L21/027
主分类号
F17D1/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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