发明名称 HIGH RESOLUTION POSITION DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH04184217(A) 申请公布日期 1992.07.01
申请号 JP19900312650 申请日期 1990.11.20
申请人 FANUC LTD 发明人 SAKANO TETSURO;SATO TAKAYUKI
分类号 G01D5/36;F02B75/02;G01D5/244;G01D5/245 主分类号 G01D5/36
代理机构 代理人
主权项
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