发明名称 ETCHING COMPOSITIONS
摘要
申请公布号 GB9210514(D0) 申请公布日期 1992.07.01
申请号 GB19920010514 申请日期 1992.05.16
申请人 MICRO-IMAGE TECHNOLOGY LIMITED 发明人
分类号 C11D1/40;C09K13/06;C09K13/08;C11D1/62;C11D3/04;C11D3/20;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/32;C23F1/14;C23F1/16;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308 主分类号 C11D1/40
代理机构 代理人
主权项
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