发明名称 |
MANUFACTURE OF PIEZOELECTRIC DISPLACEMENT ELEMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH04184985(A) |
申请公布日期 |
1992.07.01 |
申请号 |
JP19900312699 |
申请日期 |
1990.11.20 |
申请人 |
CANON INC |
发明人 |
KASANUKI YUJI;YAMAMOTO KEISUKE;SUZUKI YOSHIO |
分类号 |
H01L41/08;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q60/16;G01Q60/38;H01L27/22;H01L41/09 |
主分类号 |
H01L41/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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