发明名称 MANUFACTURE OF PIEZOELECTRIC DISPLACEMENT ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04184985(A) 申请公布日期 1992.07.01
申请号 JP19900312699 申请日期 1990.11.20
申请人 CANON INC 发明人 KASANUKI YUJI;YAMAMOTO KEISUKE;SUZUKI YOSHIO
分类号 H01L41/08;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q60/16;G01Q60/38;H01L27/22;H01L41/09 主分类号 H01L41/08
代理机构 代理人
主权项
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