发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04184978(A) 申请公布日期 1992.07.01
申请号 JP19900315219 申请日期 1990.11.20
申请人 NEC CORP 发明人 SAWADA MASAMI
分类号 H01L27/04;H01L21/22;H01L21/266;H01L21/336;H01L21/822;H01L29/06;H01L29/78 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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